涡街流量计基于卡门涡街原理，当臭氧气体流过漩涡发生体时，会在其两侧交替产生有规则的漩涡，漩涡频率与臭氧流速成正比，通过内置传感器检测漩涡频率，可计算出臭氧流量3。

例如江苏三丰的 LUGB 系列涡街流量计，就是可用于测量臭氧的流量计，具有压力损失小、量程范围大、精度高等特点4。其测量精度可达 1.0 级或 1.5 级，气体流速测量范围为 5～50m/s，工作温度范围为 - 20℃～+250℃，部分型号可扩展至 400℃，还支持脉冲电压信号和电流信号输出，便于与计算机或其他数字系统集成4。